FFUは層流空気をろ過し、クリーンな空気を供給する装置です。独立して設置することも、モジュール式で設置することもできます。
FFU は、クリーン ルーム、クリーン ベンチ、クリーン ルームなど、幅広いクリーン ルーム製品の製造の中核コンポーネントです。
ファンフィルターユニットは、独自の電源とフィルター機能を備えたモジュラー型のターミナル給気装置です。ファン上部には一次フィルターと高効率フィルターの2段フィルターを搭載しており、一次フィルターと高効率フィルターでろ過され、風速0.45m/sのきれいな空気を均一に送ります。