• 78

クリーンルームと浄化作業場:清浄度の等級分類と等級基準

クリーンルームと浄化作業場:清浄度の等級分類と等級基準

粉塵のない作業場の開発は、現代の産業や最先端の​​テクノロジーと密接に関連しています。現在、バイオ医薬品、医療と健康、食品と日用化学、電子光学、エネルギー、精密機器、その他の業界でのアプリケーションにおいて非常に一般的であり、成熟しています。
 

空気清浄度クラス(空気清浄度クラス):清浄空間内の空気の単位体積中に考慮される粒子径以上の粒子の最大濃度限度に基づいて分類される等級基準。中国は、「GB 50073-2013 クリーン工場設計規定」および「GB 50591-2010 クリーンルームの建設および受け入れ規定」に沿って、空、静的および動的条件に従って無塵作業場のテストと受け入れを実施しています。
 

清潔さと汚染管理の継続的な安定性は、粉塵のない作業場の品質を検査するための中心的な基準です。この基準は、地域の環境や清潔度などに基づいていくつかのレベルに分かれています。一般的に使用されるものには、国際標準と国内の地域業界標準があります。

 

ISO 14644-1 国際規格 - 空気清浄度グレード分類

空気清浄度(N)
マークされた粒子サイズ以上の粒子の最大濃度限界 (空気粒子数/m3)
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1.0μm
5.0μm
ISOクラス1
10
2
       
ISOクラス2
100
24
10
4
   
ISOクラス3
1,000
237
102
35
8
 
ISOクラス4
10,000
2,370
1,020
352
83
 
ISOクラス5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
ISOクラス6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
ISOクラス7
     
352,000
83,200
2,930
ISOクラス8
     
3,520,000
832,000
29,300
ISOクラス9
     
35,200,000
8,320,000
293,000
注: 測定プロセスには不確実性が含まれるため、等級クラスを決定するために必要な有効な濃度の数値は 3 つまでです。

 

各国の清浄度レベルのおおよその比較表

個人

/M≧0.5um

ISO14644-1(1999)
US209E(1992)
US209D(1988)
EECcGMP(1989)
フランス
AFNOR(1981)
ドイツ
VDI2083
日本
JAOA(1989)
1
-
-
-
-
-
-
-
3.5
2
-
-
-
-
0
2
10.0
-
M1
-
-
-
-
-
35.3
3
M1.5
1
-
-
1
3
100
-
M2
-
-
-
-
-
353
4
M2.5
10
-
-
2
4
1,000
-
M3
-
-
-
-
-
3,530
5
M3.5
100
A+B
4,000
3
5
10,000
-
M4
-
-
-
-
-
35,300
6
M4.5
1,000
1,000
-
4
6
100,000
-
M5
-
-
-
-
-
353,000
7
M5.5
10,000
C
400,000
5
7
1,000,000
-
M6
-
-
-
-
-
3,530,000
8
M6.5
100,000
D
4,000,000
6
8
10,000,000
-
M7
-
-
-
-
-

無塵作業場(クリーンルーム)グレード説明

1 つ目は、次のようなレベル定義モデルです。
クラス X (Y μm で)
その中で、これはユーザーがクリーンルーム内の粒子含有量がこの粒子サイズでこのグレードの制限を満たさなければならないと規定することを意味します。これにより紛争を減らすことができます。以下にいくつかの例を示します。
クラス1(0.1μm、0.2μm、0.5μm)
クラス100(0.2μm、0.5μm)
クラス100(0.1μm、0.2μm、0.5μm)
クラス 100 (M 3.5) 以上 (クラス 100、1000、10000…) では、通常、1 つの粒子サイズで十分です。 100 未満のクラス (M3.5) (クラス 10、1…) では、通常、さらにいくつかの粒子サイズを調べる必要があります。

2 番目のヒントは、クリーン ルームのステータスを指定することです。例:
クラス X (Y μm 時),静止時
サプライヤーは、クリーンルームが静止状態で検査されなければならないことをよく知っています。

3 番目のヒントは、粒子濃度の上限をカスタマイズすることです。一般に、クリーンルームは完成時の状態では非常にクリーンですが、パーティクル制御能力をテストするのは困難です。現時点では、次のように単純に受け入れの上限を下げることができます。
クラス 10000 (0.3 μm <= 10000)、完成品
クラス 10000 (0.5 μm <= 1000)、完成品
この目的は、クリーン ルームが稼働状態にあるときにも十分な粒子制御機能を維持できるようにすることです。

クリーンルーム事例ギャラリー

クラス100のクリーンエリア

イエローライトワークショップ 黄色の光のクリーンルーム

半導体クリーンルーム(高床式)は、クラス100およびクラス1,000のエリアでよく使用されます。

クラス100クリーンルーム クラス100クリーンルーム

従来のクリーンルーム(クリーンエリア:クラス10,000~クラス100,000)

クラス10000クリーンルーム

上記はクリーンルームに関するいくつかの共有です。クリーンルームやエアフィルターについてご不明な点がございましたら、無料でご相談いただけます。


投稿日時: 2024 年 4 月 28 日
\