クラス100 垂直気流クリーンベンチ

1. 空気循環には、水平オープンループと垂直クローズループの 2 つのタイプがあります。

オープンループ空気循環は以下の通りで、主な特徴は、各サイクルですべての空気が外部からクリーンベンチボックスを介して収集され、直接大気中に戻されることです。一般的な水平流スーパークリーン作業台は開口ループを採用しており、この種のクリーンベンチは構造が簡単でコストが低いですが、ファンとフィルターの負荷が大きく、使用寿命に悪影響を及ぼします。完全に開放された空気循環の洗浄効率は高くありませんが、通常は低清浄度要件または生物学的危険環境の場合にのみ発生します。

閉ループは実際には完全な内部空気流サイクルではありません。空気は各サイクルで大気中に排出され、作業領域を通過した後、ガスの 70% がオリフィスを通過し、再びネストサイクルに入ります。外気と比べてガスが比較的純粋なため、フィルタの負荷が軽く、寿命も長くなり、現在の主力クリーンベンチ製品にもこの空気循環が採用されています。
2. 縦型ウルトラクリーンベンチには殺菌・滅菌用の紫外線ランプが設置されています。